MEMS传感器测试解决方案

MEMS传感器集机械、电学、热学、磁学、流体等多物理场于一体，测试需同步施加并精确控制加速度、角速度、压力 、温度、磁场等多维物理激励。昂科的MEMS传感器测试解决方案，技术聚焦于集成化、智能化、高速化、模块化，提供从传感器激活、标定到老化测试的系列解决方案，帮助客戶应对传感器测试的核心挑战并提升性能与可靠性。

产品优势

•  从传感器激活、标定到老化的全流程测试解决方案

•  高度可靠、超高精度的物理激励源（高精度转台、高精度压力源）

•  精准的独立温控技术

•  产品模块化设计，支持个性化定制

MEMS惯性传感器激活方案

昂科的惯性传感器激活方案针对MEMS谐振结构起振与闭环锁定（电气激活）应用，开发了激活测试方案。不仅可以对传感器进行电性能测试并通过SPl/PSl5等协议进行激活和OTP烧录，还可加装转台实现激活后的初步测试和功能验证。

寄存器烧录（Spi、PSl5）

OS测试

MEMS惯性传感器标定解决方案

用于MEMS加速度计和陀螺仪的全自动标定测试分选一体机。昂科的惯性传感器标定解决方案，支持PSl5、SPl、l2C等多种数字协议，可提供高效的双转台测试构架，高效提升测试效率。并可支持常高温及低温半自动化及军工级计量体系。为MEMS传感器标定提供高可靠测试平台。

MEMS传感器三温老化测试方案

MEMS微结构在封装制造中的残余应力需要进行释放，以避免由于结构应力的不稳定性对产品的零漂、非线性、重复性等性能指标造成影响。因此，MEMS传感器在出厂前都需要进行老化测试。昂科的全自动老化测试机V9000，针对MEMS传感器老化应用要求，支持传感器三温或常/高温的老化测试及分选，是全球首款规模化并列堆叠式老化测试设备。